TPM5 jara agbara oludari gba ero apẹrẹ module ati ki o ṣepọ to awọn iyika 6 inu.Awọn ọja ni a lo ni akọkọ ni awọn ileru itọnilẹ, PECVD, awọn ileru epitaxy, ati bẹbẹ lọ.