O le ṣe deede si ipese agbara RLS jara RF, ati pe o lo pupọ ni pilasima etching, bo, mimọ pilasima, pilasima degumming ati awọn ilana miiran.Nigbati o ba lo nikan, o le ṣee lo pẹlu awọn ipese agbara RF ti awọn olupese miiran.