Ifipamọ
Gba awọn oye ati yiyara ilana idagbasoke.
Agbara Ilọsiwaju n pese ipese agbara ati awọn solusan iṣakoso fun awọn ohun elo ifisilẹ fiimu tinrin pataki ati awọn geometries ẹrọ.Lati yanju awọn italaya sisẹ wafer, awọn solusan iyipada agbara pipe wa gba ọ laaye lati mu iṣedede agbara pọ si, konge, iyara, ati atunṣe ilana.
A nfunni ni titobi pupọ ti awọn igbohunsafẹfẹ RF, awọn eto agbara DC, awọn ipele iṣelọpọ agbara ti adani, awọn imọ-ẹrọ ibaramu, ati awọn solusan ibojuwo iwọn otutu okun ti o jẹ ki o lotitọ lati ṣakoso pilasima ilana dara julọ.A tun ṣepọ Yara DAQ ™ ati gbigba data wa ati suite iraye si lati pese oye ilana ati iyara ilana idagbasoke.
Kọ ẹkọ diẹ sii nipa awọn ilana iṣelọpọ semikondokito wa lati wa ojutu ti o baamu awọn iwulo rẹ.
Ipenija rẹ
Lati awọn fiimu ti a lo lati ṣe apẹẹrẹ awọn iwọn iyika iṣọpọ si adaṣe ati awọn fiimu insulative (awọn ẹya itanna), si awọn fiimu irin (isopọmọra), awọn ilana ifisilẹ rẹ nilo iṣakoso ipele atomiki - kii ṣe fun ẹya kọọkan nikan ṣugbọn kọja gbogbo wafer.
Ni ikọja eto funrararẹ, awọn fiimu ti o gbasilẹ gbọdọ jẹ didara ga.Wọn nilo lati ni eto ọkà ti o fẹ, isokan, ati sisanra conformal, ati pe ko ni ofo - ati pe iyẹn ni afikun si ipese awọn aapọn ẹrọ ti o nilo (compressive ati fifẹ) ati awọn ohun-ini itanna.
Idiju nikan tẹsiwaju lati pọ si.Lati koju awọn idiwọn lithography (awọn apa-sub-1X nm), ilọpo meji ti ara ẹni ati awọn ilana ilana imupese quadruple nilo ilana ifisilẹ rẹ lati gbejade ati tun ṣe apẹẹrẹ lori gbogbo wafer.
Ojutu wa
Nigbati o ba mu awọn ohun elo ifisilẹ to ṣe pataki julọ ati awọn geometries ẹrọ, o nilo oludari ọja ti o gbẹkẹle.
Ifijiṣẹ agbara RF Agbara ti ilọsiwaju ati imọ-ẹrọ ibaramu iyara giga jẹ ki o ṣe akanṣe ati mu iwọn deede agbara, konge, iyara, ati atunwi ilana nilo fun gbogbo awọn ilana ifisilẹ PECVD ati PEALD ti ilọsiwaju.
Lo imọ-ẹrọ olupilẹṣẹ DC wa lati ṣatunṣe idahun arc atunto rẹ daradara, deede agbara, iyara, ati atunṣe ilana ti o nilo PVD (sputtering) ati awọn ilana ifisilẹ ECD.
Awọn anfani
● Imudara pilasima iduroṣinṣin ati atunṣe ilana ṣe alekun ikore
● Titọ RF ati ifijiṣẹ DC pẹlu iṣakoso oni-nọmba ni kikun ṣe iranlọwọ lati mu iṣẹ ṣiṣe ilana ṣiṣẹ
● Idahun iyara si awọn iyipada pilasima ati iṣakoso arc
● Olona-ipele pulsing pẹlu iyipada igbohunsafẹfẹ yiyi mu etch oṣuwọn selectivity
● Atilẹyin agbaye ti o wa lati rii daju pe akoko ti o pọju ati iṣẹ ṣiṣe ọja